Продукты

• CVD-покрытие

  • Покрытие CVD из карбида кремния (SiC)
  • Покрытие CVD из карбида тантала (TaC)
  • Пиролитическое графитовое (ПГ) покрытие
  • Стеклоуглеродное покрытие

• Полупроводниковая керамика

  • Керамика SiC
  • Кварцевые детали
  • Керамика глинозема
  • Детали из кремния

• Полупроводниковый углерод

  • Carbon Fiber
  • Graphite

• Упаковочный материал для полупроводников

  • Органические упаковочные материалы
  • Неорганические упаковочные материалы

• Новая технология

  • 3C-SiC пластина
  • Сырье для выращивания кристаллов SiC

• Полупроводниковое оборудование