Кварцевые детали

Кварц по-прежнему широко используется в полупроводниковой промышленности. Это не новый материал, но он надежен, и большинство заводов знакомы с его свойствами. При условии контроля чистоты он хорошо работает на этапах диффузии, окисления и очистки.

В печах или установках для PECVD-процессов используется большое количество кварцевых деталей. Главное требование — стабильность, не обязательно длительный срок службы, но предсказуемая производительность. Обычно этого достаточно для многих стандартных процессов.

Конечно, у кварца есть свои ограничения. В определенных условиях он может изнашиваться быстрее, особенно по сравнению с карбидом кремния. Но поскольку его относительно легко достать и он не слишком дорог, его все еще довольно часто используют.