Полупроводниковая кварцевая пластина-лодочка

Кварцевые пластинчатые лодочки Semixlab Semiconductor являются ключевыми подшипниковыми инструментами, предназначенными для высокотемпературных процессов, таких как диффузия, окисление, химическое осаждение из газовой фазы, отжиг и т. д. в производстве полупроводников. Изготовленные из синтетического кварца высокой чистоты с превосходной устойчивостью к высоким температурам, химической стабильностью и низким коэффициентом теплового расширения, они могут стабильно переносить пластины в жестких технологических условиях, обеспечивая постоянство процесса и выход готовой продукции.

Применимое оборудование: Совместимо со всеми видами горизонтальных/вертикальных диффузионных печей, системой LPCVD и оборудованием для быстрой термообработки (RTP).

Обеспечение качества

Строгий контроль качества: 100% гелиевая масс-спектрометрия обнаружения утечек (скорость утечки <1×10⁻⁹ мбар·л/с). Отчет о чистоте материала (тест ICP-MS) выдается для каждой партии.

Стандарты сертификации: В соответствии со спецификациями SEMI F47, посредством сертификации системы менеджмента качества ISO 9001:2015.

Срок службы: средний срок службы в нормальных условиях составляет более 2 лет (в зависимости от периодичности процесса и температурных условий).

Почему стоит выбрать нашу кварцевую лодку?

Индивидуальные услуги: Индивидуальные размеры и конструкция в соответствии с моделью оборудования (TEL, Kokusai, ASM и т. д.) и требованиями процесса.

Быстрое реагирование: стандартный срок доставки составляет 3 недели, срочные заказы могут быть сокращены до 10 рабочих дней.

Глобальная сервисная сеть: предоставление технических консультаций, руководства по установке и послепродажного обслуживания. Технические характеристики материалов.

Спецификация проекта

Синтез материалов Плавленый кварц

Чистота ≥99.99% SiO₂

Совместимость размеров пластин 8", 12" (можно настроить на 6" или 18")

Рабочая температура ≤1200°C (непрерывная) / 1300°C (пиковая)

Коэффициент термического расширения (КТР) 0.55×10⁻⁶/°C (20-1000°C)

Шероховатость поверхности (Ra) ≤0.2 мкм

Стандартная вместимость 25/50/100 таблеток

Применимые технологические газы O₂, N₂, H₂, Ar, SiH₄, HCl и т.д.

Высокотемпературное окисление/диффузия: легирование кремнием (диффузия фосфора, бора), выращивание оксида затвора.

Осаждение тонких пленок: поликристаллический кремний LPCVD, осаждение нитрида кремния (Si₃N₄).

Процесс отжига: отжиг после ионной имплантации (RTA), легирование металлов.

Полупроводники третьего поколения: процесс эпитаксии карбида кремния (SiC), нитрида галлия (GaN).

1. Характеристики материала

Сверхчистый кварц (>99.99% SiO₂): предотвращает загрязнение ионами металлов (Na+, K+, Fe³+ и т. д.) и соответствует требованиям чистоты для современных процессов (узлы <5 нм).

Высокая термостойкость: постоянная рабочая температура 1200°C, мгновенная термостойкость 1300°C, отсутствие риска деформации или кристаллизации.

Химическая инертность: выдерживает технологические газы, такие как HCl, H₂, O₂, SiH₄ и кислотные/щелочные среды. Не вызывает коррозии при длительном использовании.

2. Точный дизайн

Оптимизируйте структуру:

Точность расстояния между слотами составляет ±0.05 мм, что обеспечивает точное позиционирование пластины (8/12 дюйма) и предотвращает появление царапин или смещение.

Конструкция, устойчивая к тепловому удару, адаптируется к быстрому повышению и понижению температуры (скорость нагрева ≤20°C/мин).

Низкое образование частиц: поверхность отполирована с высокой точностью (Ra ≤0.2 мкм) для уменьшения прилипания и отпадания частиц.

3. Разнообразная конфигурация

Дополнительная емкость: поддержка 25 штук, 50 штук, 100 штук и других стандартных спецификаций, также можно настроить нестандартное количество слотов.

Адаптация типа: открытое судно, закрытое судно или специальный тип судна (например, конструкция отводного канала на дне судна).

В1: Можете ли вы предоставить нестандартный размер или специальный дизайн?

A1: Semixlab поддерживает индивидуальные услуги, включая регулировку размера, верхний предел температуры (требуется обновление материала) или тип интерфейса. Пожалуйста, свяжитесь с технической командой Semixlab для получения конкретных требований.

Q2: как долго это время?

A2: Срок поставки стандартной продукции составляет 4–6 недель, а срок проектирования и проверки индивидуальной продукции — 2–3 недели.

В3: Предоставляете ли вы послепродажную техническую поддержку?

A3: Да, мы предоставляем пожизненные технические консультации и услуги по экстренному реагированию. В случае проблем с установкой или использованием, с командой поддержки можно связаться в любое время по электронной почте или по телефону.

В4: Соответствует ли продукт стандартам полупроводниковой промышленности?

A4: Да, производственный процесс соответствует стандартам SEMI и сертифицирован по системе менеджмента качества ISO 9001. Каждая партия перед отправкой с завода проверяется на герметичность, термостойкость и чистоту.